MEMS 未来20年在国内的发展潜力怎么样？

最近经常有小伙伴私信询问MEMS 未来20年在国内的发展潜力怎么样？相关的问题，今天，好学网小编整理了以下内容，希望可以对大家有所帮助。

本文目录一览：

• 1、中国哪所大学的微机电系统专业（mems）最好？
• 2、MEMS 未来20年在国内的发展潜力怎么样？
• 3、你好，关于国内做mems方向最好的大学，请推荐几个，谢谢！

中国哪所大学的微机电系统专业（mems）最好？

今天在网上看到一篇文章，把国内MEMS发展现状总结了一下。个人感觉他总结的比较全面，但是具体对不对，有没有参考价值，我就真不太知道了。

1、国内MEMS界的第一牛人当数复旦大学的鲍敏杭鲍老师。鲍老师做传感器做了十多年了，有深厚的理论基础和实际经验，目前是S&A和 JMM两本杂志的refree吧，不知道是不是JMEMS的refree。印象中记得好像当过MEMS conference的审委。复旦现在是国内压阻方面的大拿，出了很多压阻方面的人才。想想复旦的条件和他们做的成果，很是让人佩服。
2、国内目前（MEMS）工艺条件最好的当数北大，尤其是深槽刻蚀技术，已经张大成老师摸的很透彻，是世界水平。但是别的就一般了。北大的几样法宝：深槽刻蚀机，双面光刻机，和一套键和设备。目前已经开发出国内很流行的两套体硅工艺和一套单层多晶硅的表面硅工艺。但是北大做MEMS比较晚，97年才开始做 MEMS。所以基础还比较薄弱，没有深厚的功底。北大目前在MEMS CAD方面也做了很多的工作，主要是973项目的任务。但是它的主要优势还是在加工工艺上。
3、清华做MEMS的有微所和精仪的两拨人，都做的不错。清华微所和东南大学是国内最早做MEMS的单位之二，所以基础比较雄厚。但是清华的硬件设施很好，所以也就能做出一些比较好的东西。象 Microphone发表在JMEMS上，据我所知那是大陆唯一一篇发表在JMEMS上的文章。清华的主要目标好像是系统集成方面，在这方面投入的精力比较多。虽然清华微所没有专门的mems工艺线，但是清华微所的IC工艺线就是国外的大学也羡慕不已。所以清华微所有深厚的根基，良好的设备，充足的人才，前途远大。至于清华精仪系，周兆英老师做的微泵也很厉害，发表在MEMS Conference上。另外精仪系在测试方面也很有一套。也属于很牛的级别。

补充一下，清华的高钟毓老师也是很牛的，这篇文章里面没有提。我的导师曾经带领我们去高老师那里参观过。高老师是一个很谦虚的人，我的论文评阅人就包括高老师。
4、上海冶金研究所和北大一样，都是MEMS方面的暴发户，尤其抱上了江公子这条粗腿，近来在国内要风有风，要雨有雨，很是让人嫉妒。目前该所在 MEMS方面发展飞快，也有一定的加工能力，测试也搞的不错。将来有可能成为国内MEMS的第一牛。因为有钱，就买的起设备，加上冶金所本来做IC的基础，和充足的人才，我估计他以后会很牛的。
5、交大从一开始就比较悲惨，选了LIGA做研究方向，注定了他的坎坷命运。我去过他们的实验室，条件不是很好。不过他们的陈笛老师还是想了很多办法，也做了很多事情。但是我不看好交大，我认为他们的LIGA做不下去，他们可能会向别的方面转移。
6、该说说东南了。东南大学是国内最早做MEMS的单位之一。想必大家都知道黄庆安老师的小黄书了，到目前为止还是国内最好的MEMS中文参考书。据说当年黄老师贴了1万元出版此书。不能不说黄老师是国内MEMS的先驱。但是东南大学没有资金，这也是东南一直也没有在MEMS方面发展的很壮大的原因。据说，东南现在把重点放到了不太耗资金的MEMS CAD方面。不能不说黄老师眼光独具。
7、说了东南，再说说西安交大。西安交大也有在做MEMS的，做的也比较早，但是一直也没有做起来。我只知道他们在压电方面做过一些不错的东西。
8、再说说别的学校。哈工大也在做MEMS，但是给我印象比较深的是他们在电化学腐蚀方面好像在国内比较领先，别的没有什么很深的印象。中科大也在做 MEMS，但是我对它一点也不了解。另外还有很多学校在做MEMS，北理工，北工大，华南理工等等，但是都不是很成气候。好像北理工在军事方面说话比较有份量。以前的电子工业部的几个所也在做MEMS，做的最好的就是13所，有一定的加工能力。比较有名的就是做的那个热对流式的加速度计，虽然没有什么新意，但是据说比加拿大做的好。也是目前为止好像国内MEMS器件里离市场最近的。另外，24所也在做集成式的电容器件，目前还没有令人鼓舞的消息，24所的优势在于他的电路优势。26所的压电研究是国内一流的。长春光机所也在做MEMS的一些东西，不过不是很清楚。中科院声学所和电子所也开始MEMS了，他们买了键和设备，而且电子所本来就有一个气体传感器的国家重点实验室，加上升学所在SAW方面的实力，他们在SAW传感器和超声喷墨打印头上会有所突破。他们好像还做场发射的东西，这个东西北理工和光机所都在做。
未来趋势：两大基地，上海和北京。上海冶金所是上海的加工基地，以此为依托，复旦，交大，东南会围绕上海冶金所做一些东西。北京也许会崛起两个MEMS工艺线，北大和清华。不过我觉得北大还是最有可能成为国内的MEMS foundry的。
将来的综合实力将是清华和冶金所最牛，北大的加工能力最牛，复旦的理论最牛，东南也是实力派。别的单位就要差一点了。将来国内的标准MEMS工艺肯定会有深槽刻蚀的一席之地，这也是国内工艺水平中唯一一个可以在世界上说说话得东西。
中国的一些公司和研究机构多年前便已开始MEMS技术研究并重视其巨大的市场。中国科学工作者在MEMS技术的研究和推广上也取得了相当大的成就。据有关资料介绍， "九五"期间，通过微齿轮、微泵、微电机、微马达、微型飞机和微型陀螺等研究，中国科学家提出和发展了由于尺度效应而产生的微机械学。他们发现：有的宏观脆性材料在纳米尺度时具有很强的塑性；流体在微管流动中，液体的表面张力和对管壁的附着力已不可忽略；在纳米加工及其表面质量分析中，必须考虑原子间的结合力及量子效应。中国科学家还创造性地发展了微细电火花加工、三维半导体加工和深层刻蚀（LIGA）等微细加工工艺，以及扫描遂道、原子力显微镜等纳米测量技术，部分成果已达到国际先进水平。此外，MEMS技术已开始在中国的社会生活中发挥作用，如微操作机器人已开始用于生物工程中的细胞分割、显微手术和生物芯片的制造工艺中；微传感器已经用于飞行器的加速度、压力等参数的实时测量；纳米薄膜润滑技术已用于"长征三号"火箭和计算机硬盘的制造工艺上。
MEMS技术的研究涉及微电子、材料、物理(力学及流体力学等）、化学、生物、机械学诸多学科领域。它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、原子、表面等物理学的各分支，乃至化学、生物、医学和仪器等各领域，学科交叉很强，研究难度较大。　　尽管MEMS技术有微电子技术支撑，但它必须进行微机械所特有的三维加工，而且要求与集成电路工艺兼容，要完全解决好这一问题也有一定的难度。此外， MEMS器件及系统的设计加工与传统的设计加工不同。传统的设计加工思路是从零件到装配最后到系统，是自下而上的方法。 MEMS系统是采用微电子和微机械加工技术将所有的零件、电路和系统在通盘考虑下几乎同时制造出来，零件和系统是紧密结合在一起的，是一种自上而下的方法。因此要采用新观念，站在系统高度来设计加工。由于这些困难的存在，研究人员及设计生产商都非常需要一个功能强大易于使用的MEMS计算机软件工具。

MEMS 未来20年在国内的发展潜力怎么样？

首先我来说明一下MEMS是什么东西？MEMS的四个字母是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。它是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围是在微米范围内。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术和应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

介绍完MEMS，是不是觉得它非常厉害呢？没错，所以也就导致了MEMS技术的行业门槛相对较高的，以至于在国内几乎就没有一流的技术师，相交于国外是非常落后的。虽然国内的有许多大学里也有在研究MEMS，但是大多数研究的也只是比较浅薄的一层。

再说说MEMS未来20年在国内的发展潜力，我个人觉得不是很行。首先MEMS的技术还没有形成一个行业标准的工艺平台，在国内也没有制定出行业标准的高端Fab，并且想要制定出MEMS的高端的Fab就需要投入大量资金，制定团队也需要各方面比较全面的，然而这就是一大难题。 好学网

总上，MEMS想要在未来20年能够发展好这是件比较困难的事情，国内基础太差，这个行业的门槛又高，国内专业人士也较少，想要发展好比较没底。

你好，关于国内做mems方向最好的大学，请推荐几个，谢谢！

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于国内做MEMS（微机电系统）方向最好的大学，我向你推荐清华大学、北京大学、上海交通大学和浙江大学。这些高校在MEMS领域的研究历史悠久，积累了丰富的经验和资源，拥有优秀的师资团队和先进的实验设施，是国内MEMS方向的佼佼者。
清华大学在MEMS领域的研究一直处于国内领先地位。该校的微纳电子学系是国内最早成立的微纳电子学科之一，拥有一流的师资力量和研究条件。清华大学的MEMS研究方向涵盖了微传感器、微执行器、微能源等多个领域，取得了一系列重要成果，为国内外MEMS产业的发展做出了重要贡献。
北京大学也是国内MEMS领域的重要研究机构之一，该校的微电子学与固体电子学专业在国内具有很高的声誉，其MEMS研究方向主要涉及微纳加工技术、微传感器与微系统等领域。北京大学在MEMS领域的研究成果丰硕，多项技术成果已成功应用于实际生产中，为推动我国MEMS产业的发展起到了积极作用。
上海交通大学在MEMS领域的研究也颇具特色。上海交通大学微纳科学技术研究院是国内最早成立的微纳科学技术研究机构之一，其MEMS研究方向涵盖了微纳传感器、微纳能源、微纳生物医学器件等多个前沿领域。上海交通大学在MEMS领域的研究成果在国际上具有很高的影响力，为我国在该领域的国际地位提供了有力支撑。
浙江大学在MEMS领域的研究也值得关注。该校的微电子学与固体电子学专业在国内处于领先地位，其MEMS研究方向主要包括微传感器、微执行器、微纳加工技术等。浙江大学在MEMS领域的研究成果丰硕，多项技术成果已成功转化为生产力，为我国MEMS产业的发展注入了新的活力。
清华大学、北京大学、上海交通大学和浙江大学都是国内做MEMS方向最好的大学。这些高校在MEMS领域的研究实力雄厚，成果丰硕，为我国MEMS产业的发展做出了重要贡献。如果你对MEMS方向感兴趣，不妨考虑报考这些高校的相关专业。

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